三分糊塗 作品
第630章 造不如買
既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件臺技術上取得了突破，蘇遠山接下來可就真有點坐不住了。
但他太瞭解曲慧了。
這姐妹兒，幹練豪爽不說，還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子，那自己怎麼問都是沒個結果的。
好在一小時並不長，當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper後，時間便迅速流逝起來。
嗯，主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。
……
一小時後，曲慧與鄭振川如約而至。
“鄭叔，慧姐，好久不見。”蘇遠山早已在客座沙發旁等著，就連茶都已經準備好了。
“嗯，是有不少時間了。”曲慧出乎意料地留了頭髮，還梳了個馬尾，脖子上圍著絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠山對面。
“這下可以說了吧，到底是什麼驚喜——別讓我猜啊。”
“其實就是工件臺成了。”曲慧一副雲淡風輕的表情，端起茶杯吹了口氣後笑眯眯地道:“你猜到了是吧？”
“你和鄭叔一起過來，不是光刻機的事還能是啥？”蘇遠山一攤手，笑道:“讓我乾等了一個小時，再驚的喜也給整沒了。”
“害！我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了，周小慧呢？”
“不知道，估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來，她去接待一下。”蘇遠山頓了頓，望向鄭振川:“鄭叔，別告訴我，你們已經將工件臺用在光刻機上了。”
“哈哈，當然沒有。”
鄭振川放下茶杯，衝蘇遠山樂道:“你先聽小曲的，等會我再說。”
“嗯……”蘇遠山聽到鄭振川這語氣，頓時心中多了幾分“警惕”起來。
這老爺子，語氣聽起來不對吶！
感情這次不是單純的“報喜”，似乎還有套等著自己。
不過他依舊不動聲色，整個人放鬆了姿勢:“曲慧姐，你說，工件臺到底怎麼樣了。”
“成了，但有點麻煩。”曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少，此刻也不開玩笑，正色了起來:“你知道的，制約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。”
蘇遠山點頭:“嗯，不用你說，我就算再不懂機械也知道。”
“精度的最大問題又會最終落在電機控制，材料，加工精度上。”曲慧抿著嘴，慢慢道。
“雙工件臺的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來，原理就是把在曝光過程中處於等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件臺曝光，一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢，就可以不用再測量對準，從而直接就可以移動平臺，然後曝光。”
“根據我們的估計，在目前的工藝水平下，採用雙工件臺除了可以提高30%以上的效率之外，還可以略微提高精度——別的不說，10%起碼有的。”
蘇遠山再次點頭:“然後呢？”
“我們這次取得的突破，是在運動定位模塊和流程控制系統上。”
蘇遠山聽得眉毛一揚！
他哪怕對雙工件臺的設計和原理再不懂，他也知道，實現雙工件臺最困難的地方便是運動定位系統，是真正的“牽一髮動全身”“差之毫釐，謬之千里”。
而且蘇遠山還知道，asml的初代雙工件臺，其實效率並不十分高，只能說略有提升——就是因為控制系統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之後才正式宣判尼康和佳能死刑。
雙工件臺技術真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術誕生。只有那樣，才能把誤差縮短到極限。
但一切的前提還是控制系統。
那麼……既然都已經取得突破了，還有什麼麻煩？
“那麻煩在哪？”
“麻煩在於，我們目前只能實現0.5微米的精度。”曲慧緊縮著眉，凝望著蘇遠山道:“而且，精度越高，摩擦係數和阻尼作用就越強。我有點擔心，它在未來能不能追上光刻機的步伐。”
“我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件臺無法用在最先進的光刻機上，那它的意義就少了許多。”
但他太瞭解曲慧了。
這姐妹兒，幹練豪爽不說，還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子，那自己怎麼問都是沒個結果的。
好在一小時並不長，當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper後，時間便迅速流逝起來。
嗯，主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。
……
一小時後，曲慧與鄭振川如約而至。
“鄭叔，慧姐，好久不見。”蘇遠山早已在客座沙發旁等著，就連茶都已經準備好了。
“嗯，是有不少時間了。”曲慧出乎意料地留了頭髮，還梳了個馬尾，脖子上圍著絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠山對面。
“這下可以說了吧，到底是什麼驚喜——別讓我猜啊。”
“其實就是工件臺成了。”曲慧一副雲淡風輕的表情，端起茶杯吹了口氣後笑眯眯地道:“你猜到了是吧？”
“你和鄭叔一起過來，不是光刻機的事還能是啥？”蘇遠山一攤手，笑道:“讓我乾等了一個小時，再驚的喜也給整沒了。”
“害！我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了，周小慧呢？”
“不知道，估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來，她去接待一下。”蘇遠山頓了頓，望向鄭振川:“鄭叔，別告訴我，你們已經將工件臺用在光刻機上了。”
“哈哈，當然沒有。”
鄭振川放下茶杯，衝蘇遠山樂道:“你先聽小曲的，等會我再說。”
“嗯……”蘇遠山聽到鄭振川這語氣，頓時心中多了幾分“警惕”起來。
這老爺子，語氣聽起來不對吶！
感情這次不是單純的“報喜”，似乎還有套等著自己。
不過他依舊不動聲色，整個人放鬆了姿勢:“曲慧姐，你說，工件臺到底怎麼樣了。”
“成了，但有點麻煩。”曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少，此刻也不開玩笑，正色了起來:“你知道的，制約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。”
蘇遠山點頭:“嗯，不用你說，我就算再不懂機械也知道。”
“精度的最大問題又會最終落在電機控制，材料，加工精度上。”曲慧抿著嘴，慢慢道。
“雙工件臺的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來，原理就是把在曝光過程中處於等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件臺曝光，一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢，就可以不用再測量對準，從而直接就可以移動平臺，然後曝光。”
“根據我們的估計，在目前的工藝水平下，採用雙工件臺除了可以提高30%以上的效率之外，還可以略微提高精度——別的不說，10%起碼有的。”
蘇遠山再次點頭:“然後呢？”
“我們這次取得的突破，是在運動定位模塊和流程控制系統上。”
蘇遠山聽得眉毛一揚！
他哪怕對雙工件臺的設計和原理再不懂，他也知道，實現雙工件臺最困難的地方便是運動定位系統，是真正的“牽一髮動全身”“差之毫釐，謬之千里”。
而且蘇遠山還知道，asml的初代雙工件臺，其實效率並不十分高，只能說略有提升——就是因為控制系統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之後才正式宣判尼康和佳能死刑。
雙工件臺技術真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術誕生。只有那樣，才能把誤差縮短到極限。
但一切的前提還是控制系統。
那麼……既然都已經取得突破了，還有什麼麻煩？
“那麻煩在哪？”
“麻煩在於，我們目前只能實現0.5微米的精度。”曲慧緊縮著眉，凝望著蘇遠山道:“而且，精度越高，摩擦係數和阻尼作用就越強。我有點擔心，它在未來能不能追上光刻機的步伐。”
“我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件臺無法用在最先進的光刻機上，那它的意義就少了許多。”