第310章、一代光刻機

    芯片生產線中最核心的設備光刻機，是馬由最先要解決的難題之一。它跟照相機有相似的原理和構造，它的底片就是塗滿光敏膠的硅片。電路圖案經光刻機，縮微投射到底片，蝕刻掉一部分膠，露出硅面做化學處理。製造芯片，要重複幾十遍這個過程。

    位於光刻機中心的鏡頭，由20多塊鍋底大的鏡片串聯組成。鏡片得高純度透光材料+高質量拋光。光刻機使用的鏡片，得數萬米元一塊。這時阿斯麥爾光刻機鏡片都是靠蔡司技術打底。其他如尼康等光刻機廠，本身就是光學工業企業。

    馬由佈局在姑蘇的光學工廠，通過這幾個月生產各種影像設備，逐步掌握了藍星集團自研的各種高端光學制造設備和儀器。其中一個小組，已秘密開始研製光刻機鏡片。

    有頂級的鏡頭和光源，還需極致的機械精密製造。

    光刻機裡有兩個同步運動的工件臺，一個載底片，一個載膠片。兩者需始終同步，誤差在2納米以下。兩個工作臺由靜到動，加速度跟導彈發射差不多。有專家形容道:“相當於兩架大飛機從起飛到降落，始終齊頭並進。一架飛機上伸出一把刀，在另一架飛機的米粒上刻字，不能刻壞了。”

    而且，溫溼度和空氣壓力變化會影響對焦。機器內部溫度的變化要控制在千分之五度，得有合適的冷卻方法，精準的測溫傳感器。最好的光刻機，包含13個分系統，3萬個機械件，200多個傳感器，每一個都要穩定。現在馬由要解決的就是如此眾多的精密構件加工問題。

    京城電子廠已完成將所有優盤的生產線，轉移到西京和鵬城兩地。目前已轉產集團其他企業所需的生產線，和各種設備的控制系統、科研設備等精密儀器。現在是滿負荷狀態。

    姑蘇的藍星產業園已全部生產攝像機、攝影機、數字後期處理設備、以及數碼相機，也已經滿負荷。

    現在可以安排生產光刻機等芯片生產線設備的工廠，還有京城電子廠二期和蓉城、鷺島等工廠。

    京城電子廠二期是收購了798其他兄弟工廠，如718及旗下的706、707、797後，在原廠址上進行改造而成。

    718聯合總廠於1951年建成，來自民主德國設計師，建造了當時亞洲首屈一指116.19萬平方米的總面積的巨大工廠，無論規模還是其建築工藝在當時的極為輝煌。

    現在雖拆除了部分工廠配套輔助用房、住宅、和部分車間。但還60多萬平方米的老建築，經過整修加固，全部重新按1萬-1000級無塵標準裝修。還有2座核心元器件車間，按10級防塵標準裝修。

    現在各種高精密數控機床等設備也陸續進廠安裝。近期就可以投入芯片生產線設備的部分零部件。